Inel de izolație PVD din alumină pentru sisteme de depunere fizică din vapori

Inelul de izolație PVD de la St.Cera este fabricat din 99,8% alumină de înaltă puritate (Al₂O₃) pentru utilizare în sistemele de depunere fizică în fază de vapori (PVD). Inelul asigură izolație electrică între componentele camerei, prevenind formarea arcurilor electrice și asigurând o funcționare stabilă a plasmei. Proprietățile cheie includ rezistență dielectrică ridicată (15×10⁶ V/m), rezistență specifică >10¹⁴ Ω·mm²/m și stabilitate termică de până la 1600°C. Capacitățile noastre de prelucrare de precizie permit atingerea unor diametre exterioare de până la 600 mm, diametre interioare de până la 0,2 mm, planeitate de 0,003 mm și un finisaj al suprafeței Ra0.1. Porozitatea zero și inerția chimică a inelului asigură fiabilitate pe termen lung în medii agresive de pulverizare catodică.

Specificații (bazate pe 99,8% Al)₂O₃& capacități de producție St.Cera):

Aplicații:

• · Izolatoare cu placă de suport pentru țintă în sistemele PVD
• · Izolatoare de trecere a camerei
• · Izolatoare inelare de ecranare în sistemele de pulverizare catodică
• · Izolare de înaltă tensiune în camerele de plasmă

Precizie de fabricație:

Concentricitate: 0,01 mm, rotunjime: 0,002 mm, liniaritate: 0,005 mm, perpendicularitate: 0,005 mm, verificată prin CMM.

AAvantaje față de izolatorii polimerici:

• · Rezistă la 1600°C față de limita de <300°C a polimerilor
• · Fără degazare – menține integritatea vidului
• · Rezistă eroziunii plasmatice și atacului chimic

Personalizare:

Sunt disponibile secțiuni transversale personalizate, caracteristici de montare, profile în trepte și mai multe modele de inele concentrice.