Pin de susținere ceramic pentru dispozitive de procesare semiconductoare
Pinii ceramici de susținere de la St.Cera (cunoscuți și sub denumirea de pini de ridicare sau pini de susținere) sunt utilizați în camerele de procesare a semiconductorilor pentru a ridica napolitane sau substraturi în timpul manipulării, încălzirii sau răcirii. Fabricați din 99,8% alumină sau nitrură de siliciu, acești pini oferă o rezistență ridicată la compresiune, stabilitate termică și rezistență chimică. Designul cu vârf emisferic sau plat previne zgârierea napolitanei.
Specificații(Alumină 99,8%):
| Proprietate | Valoare |
| Material | 99,8% Al₂O₃ sau Si₃N₄ |
| Lungime | 10 – 100 mm |
| Diametru | 1 – 10 mm |
| Forma vârfului | Plat, emisferic, ascuțit |
| Rezistență la compresiune (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Temperatura maximă de funcționare (Al₂O₃) | 1600°C |
| Finisajul suprafeței | Suprapus (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleranță la diametru | ±0,01 mm |
Aplicații:
Știfturi de ridicare în camerele CVD/PVD
Știfturi de susținere pentru coacere pe placă încălzită
Structuri de susținere a cardului de sondă
Suporturi pentru bărci cu cuptor cu cuarț
Fabricație:
Rectificare de precizie fără centre a diametrului exterior → rectificare cu diamant a profilului vârfului → curățare cu ultrasunete → inspecție dimensională 100%.
Controlul calității:
CMM pentru lungime/diametru, comparator optic pentru raza vârfului, testare la sarcină pentru verificarea rezistenței la compresiune (eșantion aleatoriu per lot). Fără contaminare feromagnetică (verificată cu magnet).
Avantaje față de ace metalice sau de cuarț:
Durată de viață de 5 ori mai lungă decât oțelul inoxidabil
Fără contaminare cu metale în camera de procesare
Capacitate la temperaturi mai ridicate decât cuarțul (1600°C vs 1100°C)
Suprafață antiaderentă (aderență redusă a particulelor)
Personalizare:
Profile multiple cu vârfuri, bază filetată sau ax conic.
De asemenea, furnizăm pini SiC pentru medii extreme cu plasmă.
