Efector final ceramic din carbură de siliciu (SiC) – rigiditate ridicată pentru manipularea napolitanelor la temperaturi ridicate
Efectorul final ceramic SiC de la St.Cera este fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate (conținut de SiC 99,72%, Si liber 0,05%) folosind materialul de amestec S1111. Acesta oferă proprietăți mecanice excepționale: rezistență la încovoiere 449 MPa (măsurată), modul de elasticitate 457 GPa (măsurat) și duritate Vickers 25–28 GPa (tipic). Densitatea redusă (3,10–3,15 g/cm³, tipică) oferă o rigiditate specifică ridicată, ideală pentru roboții de transfer de napolitane de mare viteză. Cu o conductivitate termică de 120–150 W/m·K (tipic) și un coeficient de dilatare termică de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipic), acest efector final disipă eficient căldura și menține stabilitatea dimensională în timpul manipulării la temperaturi ridicate (până la 1600–1700°C, fără sarcină). Culoarea negru/gri și absorbția zero de apă asigură compatibilitatea cu camera curată.
Specificații(pe baza raportului de testare SiC S1111 furnizat și a valorilor tipice)):
| Proprietate | Valoare |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si liber) |
| Culoare | Negru/Gri |
| Densitate | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorbția apei | 0% |
| Rezistență la încovoiere | 449 MPa (medie) |
| Rezistența la fractură | 3,12 MPa·m¹/² (medie) |
| Modulul de elasticitate | 457 GPa |
| Duritate Vickers | 25–28 GPa |
| Conductivitate termică (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura maximă de utilizare (fără sarcină) | 1600–1700°C |
Aplicații:
● Manipularea plachetelor la temperatură înaltă (post-recoacere, RTP, epitaxie)
● Camere de gravare cu plasmă care necesită rezistență ridicată la eroziune
● Roboți de transfer de mare viteză (greutate redusă, rigiditate ridicată)
Fabricație:
Sinterizarea cu pulbere de SiC → rectificarea CNC de precizie a profilului brațului și a elementelor de montare → lepuirea suprafeței → curățare cu ultrasunete. Inspecție dimensională 100% și test de scurgere a heliului pentru aplicații în vid.
Controlul calității:
● Inspecția CMM a lungimii, lățimii și planeității
● Test de rezistență la încovoiere per lot (conform standardului raportului de testare)
● Inspecție vizuală la microscop pentru defecte de suprafață
Avantaje față de alumină sau metal:
● Modul de elasticitate de 2 ori mai mare (457 vs ~380 GPa pentru alumină) – deformare mai mică
● Conductivitate termică de 3 ori mai mare – disipare mai rapidă a căldurii
● Rezistă la >1600°C față de 800°C pentru alumină în aer
● Densitate mai mică decât oțelul – reducere cu 40% a greutății
Personalizare:
Lungimi 150–450 mm, forme ale vârfurilor (prindere pe muchie, Bernoulli, plată), modele de flanșe de montare conform desenului OEM.
*Toate datele mecanice de mai sus provin din raportul de testare furnizat (lotul S1111). Valorile termice și de duritate sunt tipice pentru această clasă de SiC; vă rugăm să ne contactați pentru certificarea specifică lotului.*
