Inel de etanșare din ceramică de alumină de înaltă puritate pentru etanșarea camerei la temperaturi ridicate

Inelul de etanșare ceramic de la St.Cera este conceput ca o alternativă la inelele O din polimer în medii extreme în care elastomerii se degradează. Fabricat din 99,8% alumină de înaltă puritate (Al₂O₃), acest inel de etanșare rigid este utilizat în aplicații de etanșare statică - de obicei asociat cu o garnitură din metal moale sau grafit - pentru a asigura o izolare fiabilă a vidului sau a gazului la temperaturi de până la 800°C și în medii agresive cu plasmă sau chimice. Materialul oferă zero degazare, rezistență ridicată la compresiune (rezistență la încovoiere de bază 361 MPa) și inerție chimică (rezistent la halogeni, acizi și alcali, cu excepția HF). Suprafețele de etanșare suprapuse cu precizie (planeitate ≤5 μm, rugozitate suprafeței Ra ≤0,2 μm) asigură un contact etanș cu componentele metalice sau ceramice de contact.

Specificații(bazat pe 99,8% Al)₂O₃):

Aplicații:

• · Etanșări statice pentru camere de procesare semiconductoare (CVD, PVD, gravare)
• · Garnituri de etanșare pentru uși de cuptor la temperaturi înalte
• · Flanșe de trecere în vid
• · Închideri ale vaselor reactoarelor chimice

Procesul de fabricație:

Presare izostatică → sinterizare la 1600°C → lepuire dublă de precizie pentru a obține suprafețe de etanșare ultra-plate și netede → teşire a marginilor → curățare cu ultrasunete. Fiecare inel este testat 100% pentru scurgeri pe un detector de heliu cu o garnitură metalică standard.

Controlul calității:

• · Verificare dimensională CMM (interior, exterior, grosime, paralelism)
• · Profilometru de suprafață pentru Ra și ondulație
• · Măsurarea planeității folosind metoda optică de măsurare a planeității
• · Test de scurgere a heliului (metoda de contrapresurizare)

Avantaje față de inelele O din polimer:

• · Rezistă la 800°C față de <300°C pentru FFKM
• · Zero degazare — nicio contaminare a mediului în vid
• · Rezistent la toate substanțele chimice ale plasmei (fluor, clor, oxigen)
• · Fără compresie fixă ​​sau deformare permanentă
• · Durată de viață nelimitată în medii curate

Limitări (Observații critice):

• · Nu este un inel O— este un inel ceramic rigid care necesită o garnitură moale (cupru, aluminiu sau grafit) pentru etanșare.
• · Nu permite mișcarea dinamică sau nealinierea mare a flanșelor.
• · Cost inițial mai mare decât inelele O din polimer, dar durata de viață mai lungă reduce costul de proprietate.
• · Fragil — manipulați cu grijă; evitați impactul punctual sau solicitările de îndoire.

Nota:Datele de mai sus respectă cu strictețe tabelul de proprietăți Al₂O₃ furnizat. Nu au fost furnizate date pentru materialele elastomerice. Acest produs este un inel de etanșare static, nu un inel O elastomeric. Vă rugăm să confirmați dacă acesta îndeplinește cerințele aplicației dumneavoastră.