-
Piese ceramice cu inele ceramice de înaltă precizie din alumină
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Mandrine ceramice pentru echipamente semiconductoare personalizate ST.CERA
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Efector final ceramic din carbură de siliciu (SiC) – rigiditate ridicată pentru manipularea napolitanelor la temperaturi ridicate
Efectorul final ceramic SiC de la St.Cera este fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate (conținut de SiC 99,72%, Si liber 0,05%) folosind materialul de amestec S1111. Acesta oferă proprietăți mecanice excepționale: rezistență la încovoiere 449 MPa (măsurată), modul de elasticitate 457 GPa (măsurat) și duritate Vickers 25–28 GPa (tipic). Densitatea redusă (3,10–3,15 g/cm³, tipică) oferă o rigiditate specifică ridicată, ideală pentru roboții de transfer de napolitane de mare viteză. Cu o conductivitate termică de 120–150 W/m·K (tipic) și un coeficient de dilatare termică de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipic), acest efector final disipă eficient căldura și menține stabilitatea dimensională în timpul manipulării la temperaturi ridicate (până la 1600–1700°C, fără sarcină). Culoarea negru/gri și absorbția zero de apă asigură compatibilitatea cu camera curată.
-
Mandrină cu vid pe bază de carbură de siliciu (SiC) pentru medii cu temperaturi ridicate și plasmă
Mandrina ceramică pe bază de SiC de la St.Cera este fabricată din carbură de siliciu de înaltă puritate (lotul S1111, SiC 99,72%, Si liber 0,05%). Aceasta oferă o rezistență la încovoiere măsurată de 449 MPa, o tenacitate la fractură de 3,12 MPa·m¹/² și un modul de elasticitate de 457 GPa. Conductivitatea termică tipică a materialului (120–150 W/m·K) și expansiunea termică redusă (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) permit o creștere rapidă a temperaturii și o deformare minimă a plachetelor în timpul ciclului termic. Mandrina poate fi configurată ca mandrină poroasă cu vid (flux uniform de gaz) sau mandrină standard cu caneluri. Cu o temperatură maximă de utilizare de 1600–1700°C (fără sarcină) și o rezistență excepțională la eroziunea plasmei, această mandrină este ideală pentru procesarea plachetelor la temperatură înaltă (recoacere, RTP) și pentru camerele de gravare agresive unde mandrinele de alumină se degradează.
-
Piese de schimb ceramice pentru echipamente semiconductoare Suporturi ceramice
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Inel de șlefuire din ceramică de alumină cu suport metalic pentru aplicații de lepuire cu rigiditate ridicată
Inelul de șlefuire pe bază de metal din alumină de la St.Cera combină un strat ceramic de uzură din alumină de înaltă puritate (99,8% Al₂O₃) cu un suport metalic prelucrat cu precizie (de obicei aluminiu sau oțel inoxidabil). Acest design hibrid oferă rezistența excepțională la uzură și inerția chimică a ceramicii pe suprafața de șlefuire, în timp ce baza metalică adaugă rezistență mecanică, montare ușoară și rezistență la fracturare fragilă. Stratul de alumină oferă o rezistență la încovoiere de 361 MPa, o duritate Vickers de 16 GPa și o stabilitate termică de până la 800°C. Baza metalică este personalizată cu găuri de montare, știfturi de fixare sau proprietăți magnetice pentru integrarea în mașini de lepuit, mașini de rectificat planetare și echipamente CMP.
-
Piese de schimb ceramice pentru echipamente de stație de sondă semiconductoare
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Prelucrare personalizată a mandrinei pentru plachete ceramice Al2O3
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Placă ceramică pentru echipamente semiconductoare personalizate ST.CERA
Formate prin presare izostatică la rece și sinterizate la temperatură înaltă, apoi prelucrate cu precizie și lustruite, piesele de schimb ceramice pot îndeplini orice cerințe stricte ale echipamentelor semiconductoare datorită caracteristicilor lor de rezistență la uzură, rezistență la coroziune, dilatare termică redusă și izolație. Ceramica poate funcționa în multe tipuri de echipamente de producție a semiconductorilor în condiții de temperatură înaltă, vid sau gaze corozive pentru o perioadă lungă de timp.
Fabricat din pulbere de alumină de înaltă puritate, prelucrat prin presare izostatică la rece, sinterizare la temperatură înaltă și finisare de precizie, poate atinge o toleranță dimensională de ±0,001 mm, finisaj suprafață Ra 0,1, rezistență la temperatură 1600 ℃.
-
Mandrină de vid din alumină de 12 inci pentru procesarea napolitanelor de 300 mm
Mandrina cu vid de 12 inch de la St.Cera este fabricată cu precizie din alumină de înaltă puritate (Al₂O₃) 99,8% pentru manipularea napolitanelor de 300 mm. Mandrina are o suprafață cu caneluri fine (lățimea canelurii 0,5–1,0 mm, pasul 2–3 mm) pentru a asigura o distribuție uniformă a vidului pe întregul diametru de 300 mm. Planeitatea este menținută în limita a 5 μm, permițând fixarea fără deformare a napolitanei în timpul tăierii în cuburi, șlefuirii din spate și inspecției. Rezistența ridicată la încovoiere (361 MPa) și duritatea (16 GPa) ale materialului garantează stabilitatea dimensională pe termen lung chiar și în timpul ciclurilor repetate de vid.
-
Efector final din ceramică de alumină cu canale de vid integrate
Efectorul final de vid din alumină de la St.Cera integrează canale de vid prelucrate cu precizie și orificii de aspirație direct în corpul de alumină de înaltă puritate 99,8%. Acest design elimină plăcuțele de vid externe, permițând preluarea directă a plachetei cu o forță de fixare uniformă. Rezistența ridicată la încovoiere (361 MPa) și duritatea (16 GPa) ale materialului asigură stabilitatea dimensională pe termen lung în timpul ciclurilor repetate de vid. Planeitatea pe suprafața plăcuței este menținută în limita a 10 μm, prevenind stresul și ruperea plachetei. Orificiile de vid sunt amplasate la flanșa de montare din spate pentru o integrare ușoară cu brațele robotului OEM.
-
Piese ceramice din alumină sigure ESD pentru manipularea plachetelor sensibile la electricitate statică
Piesele ceramice din alumină sigure ESD (descărcări electrostatice) de la St.Cera sunt fabricate din Al₂O₃ de înaltă puritate în proporție de 99,8%, cu o rezistivitate superficială personalizată de 10⁶–10⁹ Ω/sq, obținută printr-un proces brevetat de dopare sau acoperire. Aceste piese disipă eficient sarcina statică, prevenind deteriorarea electrostatică a napolitanelor și dispozitivelor semiconductoare sensibile. Materialul de bază își păstrează rezistența ridicată la încovoiere (361 MPa), duritatea (16 GPa) și rezistența dielectrică (15×10⁶ V/m). Piesele ceramice sigure ESD includ efectoare finale, pini de ridicare, șine de ghidare și dispozitive personalizate pentru automatizarea FAB.
